微型精密滑台
用途：
●晶圓檢測機構
●取放機構
●LED檢測機構
●高速往復移動機構
特點：
●高精度微型化構造，內建防差滑機制
●滑順度極佳且無噪音
●超高剛性:高精度研磨的溝槽與鋼珠之間弧面接觸
●全系列為零背系預壓品
●支援300 m/s2、3 m/s
●可應用於無塵室及真空環境(10-9mbar)
型錄：MINISLIDE Frictionless Table
微型精密滑台
微型精密滑台
微型精密滑台
用途：
●晶圓檢測機構
●取放機構
●LED檢測機構
●高速往復移動機構
特點：
●高精度微型化構造，內建防差滑機制
●滑順度極佳且無噪音
●超高剛性:高精度研磨的溝槽與鋼珠之間弧面接觸
●全系列為零背系預壓品
●支援300 m/s2、3 m/s
●可應用於無塵室及真空環境(10-9mbar)
型錄：MINISLIDE Frictionless Table
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